數(shù)字式四探針測試儀 　型號：SX1934
產(chǎn)品特點(diǎn) 
四探針測試儀是根據(jù)單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計的半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）測試儀器。 
儀器以大規(guī)模集成電路為核心部件，采用旋扭式開關(guān)控制，及各種工作狀態(tài)LED指示。應(yīng)用微計算機(jī)技術(shù)，使得測量讀數(shù)更加直觀、快速。整套儀器體積小、功耗低、測量精度高、測試速度快、穩(wěn)定性好、易操作。 
測量范圍 電阻率/Range：10-4—105Ω/□(可擴(kuò)展/extended range) 方塊電阻(薄層電阻) /Sheet resistance：10-3—106Ω/□ 電阻/resistance：10-6—105Ω 
可測晶片直徑（Z大） φ100mm(標(biāo)配)，方形230×220mm(Z大) 
Z大電阻測量誤差(按JJG508-87)
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±0.3%讀數(shù)±2個字 
外形尺寸 400mm×440mm×120mm 
儀器重量 電氣主機(jī)：約4kg 　　測試臺：約5kg 
測試環(huán)境 溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65％； 無高頻干擾 無強(qiáng)光照射 
電源 220V±10%(50Hz) 功耗≤35W 
探頭 
Sx系列四探針探頭是采用綜合性能優(yōu)異的高分子材料、耐磨和硬度高的探針研制的測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定、可靠、準(zhǔn)確度高、耐用性能好四探針探頭。所有技術(shù)指標(biāo)符合國家標(biāo)準(zhǔn)，同時符合ASTM標(biāo)準(zhǔn)有關(guān)規(guī)定。 
間距：1±0.01mm； 針間絕緣電阻≥1000MΩ； 機(jī)械游移率:≤1.0%；
探針壓力：TZT-9A/9B: 12-16牛頓（總力） TZT-9C/9D 5-8 牛頓（總力）